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高精度硅片检查显微镜GP-600
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高精度硅片检查显微镜GP-600

太阳能检测显微镜能生产高清晰的图像,立体感较强,成像较清晰和宽阔,又具有长工作距离,并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的数码摄像头,可以很清楚地看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析服务。

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    一、 仪器介绍 

      高精度硅片检查显微镜GP-600主要用于太阳能电池硅片的观察。太阳能检测显微镜能生产高清晰的图像,立体感较强,成像较清晰视野宽阔,配置有长工作距离物镜,并具有较大的视场范围和相应的放大倍数, 配有高像素的工业相机,可以清晰的看到硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析,是太阳能电池硅片的普遍专用显微镜。
        单晶硅检测显微镜可以观察到肉眼难观测的大阳能晶体硅片检测、位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析。杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,会使磨片后的硅片易于发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格。显微检测几乎是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一。 

     

    二、技术标准

    标准配置

    型号

    GP-600

    目镜

    大视野 WF10X(Φ18mm)

    物镜

    长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL 5X/0.12

    长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L10X/0.25

    长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L20X/0.40

    长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L50X/0.70

    长距平场消色差物镜(无盖玻片)PL L80X/0.80

    目镜筒

    三目镜,倾斜30,(内置检偏振片,可进行切换)

    落射照明系统

    6V 20W卤素灯,亮度可调

    落射照明器带视场光栏、孔径光栏、起偏振片,(黄,蓝,绿)滤色片和磨砂玻璃

    调焦机构

    粗微动同轴调焦, 微动格值:2μm,带锁紧和限位装置

    转换器

    四孔(内向式滚珠内定位)

    载物台

    双层机械移动式(尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm)

    透射照明系统

    阿贝聚光镜  NA.1.25  可上下升降

    蓝滤色片和磨砂玻璃

    集光器,卤素灯照明适用(内置视场光栏)

    6V 20W 卤素灯,亮度可调

     

     

    系统组成

    电脑型(GP-600C)

    1.太阳能硅片专用显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机(选购) 

    数码型(GP-600D)

    1、太阳能硅片专用显微镜 2、适配镜 3、数码相机(选购)

    选购件

    名称

    类别/技术参数

    目镜

    大视野  WF16X(Φ11mm)

    分划   10X(Φ18mm) 格值0.1mm/格

    物镜

    长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL L 40X/0.60

    长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL L 60X/0.75  (弹簧)

    长距平场消色差物镜(无盖玻片) PL L 100X/0.85 (弹簧)

    平场消色差物镜(无盖玻片) PL 100X/1.25  (弹簧,油)

    转换器 

    五孔(内向式滚珠内定位)

    滤色片 

    绿滤色片

    黄滤色片

    CCD接头

    0.4X

    0.5X

    1X

    0.5X带分划尺,格值0.1mm/格

    摄像仪

    DV-1带USB和Video输出

    DV-2带USB输出

    DV-3带Video输出

    摄影装置

    2.5X/4X变倍摄影装置带10X取景目镜

    4X对焦摄影装置

    MD卡环

    PK卡环

    数码相机接头

    CANON(A610,A620,A630,A640)

    分析软件

    二维图像测量分析软件

     

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